MBE
Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
Линейка MBE-систем для выращивания гетероструктур на основе соединений A3B5, A2B6 и A3N.
Открыть разделКаталог оборудования
Отдельные страницы по основным направлениям оборудования
Ниже собраны ключевые направления каталога АО «НТО» / SemiTEq. Для каждого раздела вынесены отдельные страницы с оборудованием, карточками моделей, фото и описаниями с semiteq.ru.
MOCVD
Установки МОС-гидридной эпитаксии
Оборудование для МОС-гидридной эпитаксии с фокусом на устойчивый технологический процесс и воспроизводимость роста.
Открыть раздел
PVD
Оборудование планарных технологий / PVD
Решения для электронно-лучевого, магнетронного, терморезистивного и универсального физического осаждения.
Открыть раздел
PLASMA
Установки для плазмохимической обработки пластин
Универсальная технологическая платформа STE ICP200 для широкого спектра процессов плазмохимического травления и осаждения.
Открыть раздел
RTA
Установки быстрой термической обработки и отжига
Системы для быстрой температурной обработки и отжига в вакууме, инертной и управляемой газовой среде.
Открыть раздел